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對話十城專精特新@重慶:突破超純水領域關鍵指標,摩爾實現兩年三級跳

2023-03-31 356 gjys004

受訪(fang)企業:重慶摩爾水處理設備有限公(gong)司(si)(下稱“摩爾公(gong)司(si)”)

入(ru)選(xuan)第三批國家專精(jing)特(te)新小巨人企業

超(chao)(chao)純水是(shi)(shi)用于電子行(xing)業和半(ban)導(dao)(dao)體生產制程的(de)(de)(de)高純度工(gong)業用水,是(shi)(shi)半(ban)導(dao)(dao)體制程工(gong)藝(yi)(yi)所(suo)必需的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)(yi)用水,主(zhu)要(yao)應用在硅片晶圓的(de)(de)(de)切片、粗磨、化學蝕(shi)平(ping),拋光清洗等工(gong)序。對(dui)水中(zhong)的(de)(de)(de)殘留離子有非常嚴苛的(de)(de)(de)指標要(yao)求,是(shi)(shi)超(chao)(chao)純水細分領域(yu)的(de)(de)(de)珠(zhu)穆朗瑪峰。

摩爾(er)(er)公司就長期專注于超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)水(shui)設備(bei)研(yan)(yan)制。其去年研(yan)(yan)發的 “半導(dao)體(ti)用超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)水(shui)設備(bei)”,能(neng)夠滿足(zu)最嚴苛的電子工業(ye)(ye)和半導(dao)體(ti)級超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)水(shui)標(biao)(biao)準,這也標(biao)(biao)志著摩爾(er)(er)公司在國內超(chao)(chao)(chao)純(chun)(chun)水(shui)行業(ye)(ye)率先掌握了這項核心技術,并且達到國際領先水(shui)平。填補了國內現有半導(dao)體(ti)行業(ye)(ye)在晶圓、硅片、電路板(ban)等生產過中對于顆粒(li)物和總(zong)有機(ji)碳超(chao)(chao)(chao)低(di)指(zhi)標(biao)(biao)要求(qiu)的空(kong)白(bai)與短(duan)板(ban)。

重慶摩爾水處(chu)理公司董事長(chang)馬(ma)兵在接受紅(hong)星(xing)資(zi)本局(ju)專訪時談到,保持工程師的(de)(de)強烈好奇心,是公司能(neng)夠持續向前(qian)創新(xin)的(de)(de)關(guan)鍵。

重(zhong)慶摩爾水處(chu)理公司董事長馬兵

參與(yu)國家(jia)重(zhong)大科技項目

一家中小企業的“逆襲”

2021年5月,國家重大科技基(ji)礎(chu)設(she)施(shi)“高海拔宇宙(zhou)線(xian)觀(guan)測(ce)站(LHAASO)”在銀河系(xi)(xi)內發現大量超(chao)高能(neng)宇宙(zhou)加速器,并記錄(lu)到(dao)能(neng)量達1.4拍電子伏(fu)的(de)伽馬(ma)光子(拍=千(qian)萬(wan)億),這是人類(lei)觀(guan)測(ce)到(dao)的(de)最(zui)高能(neng)量光子,突破了(le)人類(lei)對銀河系(xi)(xi)粒子加速的(de)傳統認(ren)知(zhi),開啟了(le)“超(chao)高能(neng)伽馬(ma)天文學”的(de)時代。

最高能量(liang)的(de)光子是如(ru)何“捕捉”到的(de)?這要歸(gui)功于LHAASO,它(ta)是以(yi)宇宙線觀測研(yan)究為核心的(de)國家重大(da)科技基礎(chu)設施,位于四川省稻(dao)城縣海拔4410米的(de)海子山(shan)。

在(zai)觀測站下方,為了排(pai)除(chu)非光子信號,1188個繆子探測器浸泡在(zai)超純水中不斷探測宇宙(zhou)甚(shen)高能γ射(she)線源樣本。

而為繆子探測器提供(gong)超純水的“可(ke)移動超純水制(zhi)取(qu)裝(zhuang)置”,則是中國科學院高(gao)(gao)(gao)能物理研(yan)(yan)究所與摩爾(er)公司產(chan)學研(yan)(yan)成果。該裝(zhuang)置填補了高(gao)(gao)(gao)海(hai)拔(ba)、可(ke)移動、高(gao)(gao)(gao)可(ke)靠(kao)性超純水技術空白,能夠(gou)在高(gao)(gao)(gao)海(hai)拔(ba)和低(di)溫的惡劣環境中制(zhi)取(qu)電阻率大于(yu)18兆歐母(mu)(純度(du)極限(xian)值)的超純水,每天有效產(chan)水時間達(da)到22小時以(yi)上(shang)。

2018年在與中國科學(xue)院高(gao)能物理研(yan)究所(suo)合作時,馬兵(bing)和(he)團(tuan)隊(dui)面對需(xu)(xu)求(qiu)方設備所(suo)在地海拔高(gao)、氣溫和(he)水(shui)溫低等不利的自(zi)然環境因素,以及需(xu)(xu)求(qiu)方對設備可移(yi)動的高(gao)要求(qiu),成立了攻關小(xiao)組(zu),憑借其技術儲備把該項目所(suo)用的超純水(shui)做出(chu)了世界先進水(shui)平。

“項目的(de)攻(gong)關難點要(yao)去(qu)解決我們(men)之前從(cong)沒有做過的(de)問(wen)題。”馬(ma)兵(bing)對(dui)紅(hong)星資本(ben)局解釋了技術難點,高海拔(ba)低溫(wen)情(qing)況下(xia)水會結凍,低水溫(wen)同樣還(huan)會影響設備的(de)產(chan)出效率,他們(men)要(yao)解決的(de)主要(yao)就是“抗低溫(wen)、高海拔(ba)、高純度”。

整個實驗論(lun)證花費(fei)了(le)2年時(shi)間。而對于摩爾(er)公司來講,能夠(gou)參與到國家重大科(ke)技項目,不單單是又(you)一(yi)次(ci)攻關了(le)難題,同(tong)時(shi)提升了(le)公司研發團隊的(de)科(ke)研能力。從一(yi)家傳統小企業成長為國家級專精特新“小巨人”企業,摩爾(er)公司經歷的(de)是一(yi)次(ci)次(ci)的(de)突破。

摸石頭過(guo)河

成為蘋果供應(ying)商

2007年(nian),成立僅4年(nian)的摩(mo)爾(er)公司(si)就(jiu)迎(ying)來了第一個(ge)“幾乎不可能完成的任(ren)務”。

一(yi)位美國客(ke)戶登門拜訪(fang),希望摩爾公司能夠做出一(yi)款能夠每(mei)天24小時持續(xu)運行(xing)6個月(yue)不停機連續(xu)供水的超純水設備(bei)。在(zai)此之前,這個客(ke)戶幾乎(hu)把(ba)領域內的廠家問詢一(yi)遍,但都(dou)沒有(you)得到滿意(yi)結(jie)果(guo)。

當時,常規(gui)的超純水設(she)備最多運(yun)(yun)行(xing)一個月(yue)左右(you)便會(hui)檢(jian)修維(wei)護保養。連續(xu)運(yun)(yun)行(xing)6個月(yue),對產品的連續(xu)可靠性與質量(liang)穩定性都是極大考(kao)驗。

“在這之前(qian),我(wo)們(men)也沒做過這樣長時(shi)間可靠性的(de)驗(yan)證測試。”因為(wei)缺乏參照(zhao)物,很多(duo)東(dong)西(xi)都(dou)只有自己“摸著(zhu)石頭(tou)過河”。為(wei)此,公司專門(men)組織了(le)一(yi)支研發測試小組進行(xing)攻克(ke)。從(cong)研發到(dao)測試再到(dao)最后試驗(yan),重(zhong)慶(qing)摩爾花了(le)近2年時(shi)間,耗資50多(duo)萬(wan)元,最終(zhong)成(cheng)功達到(dao)了(le)客戶提出(chu)的(de)標準。

對于當時一個(ge)(ge)初創企業,投(tou)入2年和(he)50萬去研發一個(ge)(ge)未知(zhi)產(chan)品,馬兵考慮的并非是(shi)“值不值”。

“我理(li)解的(de)商(shang)業規則就是(shi)(shi)‘真正幫客戶(hu)解決問題,市(shi)場(chang)一定會有回(hui)報’。”一戰成名后(hou),摩爾(er)公司果(guo)然迎來了(le)“市(shi)場(chang)回(hui)報”, 富(fu)(fu)士康(kang)也伸來了(le)“橄欖(lan)枝”。富(fu)(fu)士康(kang)是(shi)(shi)蘋(pin)(pin)果(guo)的(de)供應商(shang)之一,它對合(he)(he)作(zuo)合(he)(he)伙的(de)要求,很大(da)程度上也對標(biao)蘋(pin)(pin)果(guo)。經(jing)過審廠(chang)、驗證(zheng)、測試等多(duo)個流程中(zhong)同樣苛(ke)刻的(de)考察,2015年,重慶摩爾(er)進入富(fu)(fu)士康(kang)供應鏈。

成(cheng)為(wei)富士康合作伙(huo)伴,相當(dang)于半(ban)只腳邁入蘋(pin)果公司的供(gong)應(ying)體系(xi)。蘋(pin)果對供(gong)應(ying)商的選擇,堪(kan)稱苛刻。產(chan)(chan)品(pin)工藝、生(sheng)產(chan)(chan)能(neng)力、產(chan)(chan)品(pin)質量、企業文化等,都在蘋(pin)果的考察之(zhi)(zhi)列。能(neng)夠進入蘋(pin)果供(gong)應(ying)體系(xi)的,無疑是各(ge)領域的佼佼者。2019年,重慶摩爾正(zheng)式成(cheng)為(wei)蘋(pin)果公司的供(gong)應(ying)商之(zhi)(zhi)一。

摩爾FDA規范的制藥純化水設(she)備國外現場圖

兩年(nian)三級跳

工程師特(te)質是關鍵

摩爾公(gong)司(si)能夠與蘋果公(gong)司(si)結緣,很大程度上是因為決策的改變。

2012年之前,重慶摩(mo)爾的(de)主要市場是在化工領(ling)域(yu),該領(ling)域(yu)要求相對較低,技術含量也(ye)不算高(gao)。馬兵(bing)意識到,想要長遠發展,就要向高(gao)端領(ling)域(yu)進發,并通過研發提(ti)高(gao)競(jing)爭門檻(jian)。

也是在這一年,摩爾開始把目光瞄向制(zhi)藥(yao)、醫療、新材料、芯片等對(dui)超純水純度要求更高的(de)領域,“倒逼”自身(shen)研發能力。

以(yi)半導(dao)(dao)體行業(ye)為(wei)例,如(ru)果(guo)其(qi)使用的(de)超(chao)(chao)純水(shui)雜(za)質超(chao)(chao)標,很(hen)可能導(dao)(dao)致晶圓(yuan)生產過程出現大量的(de)不合格(ge)品。所以(yi)半導(dao)(dao)體行業(ye)對(dui)超(chao)(chao)純水(shui)指(zhi)標尤其(qi)嚴苛,部分指(zhi)標是(shi)需要(yao)技(ji)術攻(gong)關才能達到應用要(yao)求。目前也(ye)是(shi)對(dui)超(chao)(chao)純水(shui)要(yao)求最(zui)高的(de)領域之一。

成(cheng)立20年,摩爾公司在超純(chun)水的(de)關(guan)鍵(jian)難度(du)指(zhi)標完(wan)全達到了美國的(de)相關(guan)標準。技術水平(ping)已經處于國際第(di)一梯(ti)隊。

摩爾(er)公(gong)司僅用兩年時(shi)間(jian)就完成了(le)市(shi)級“專精特新”企業(ye)、國家專精特新“小巨人(ren)”、國家重點支持“小巨人(ren)”的“三級跳”。

馬兵總結其(qi)中緣由,主(zhu)要是(shi)(shi)在超(chao)(chao)純水關鍵(jian)指(zhi)(zhi)標(biao)做出突(tu)破。美(mei)國(guo)ASTM D5127電子及半導體工業(ye)用純水水質要求,是(shi)(shi)超(chao)(chao)純水細分領(ling)域中極其(qi)嚴苛的(de)指(zhi)(zhi)標(biao)。能夠(gou)達到該標(biao)準(zhun)的(de)國(guo)內企業(ye)屈(qu)指(zhi)(zhi)可(ke)數。“我們可(ke)以達到美(mei)國(guo)最難的(de)指(zhi)(zhi)標(biao)標(biao)準(zhun),甚(shen)至比他的(de)指(zhi)(zhi)標(biao)還(huan)要更優。”

摩爾(er)公司(si)每年會將營(ying)業收入的6%用(yong)于(yu)新(xin)技術(shu)、新(xin)產品的開發,研發人員約占(zhan)30%左右(you),這(zhe)些(xie)數據遠超行(xing)業平(ping)均水平(ping)。迄今為止,摩爾(er)公司(si)的產品已(yi)經更新(xin)超過6代(dai),前后調整(zheng)超過600多個環節,擁有的專利累積超過100個。

除了(le)多(duo)年來的(de)(de)技(ji)術積累,作為工(gong)程(cheng)(cheng)師(shi)出身的(de)(de)馬兵,他強(qiang)調了(le)工(gong)程(cheng)(cheng)師(shi)的(de)(de)特質——強(qiang)烈(lie)好奇心(xin),這(zhe)意味著思考問(wen)題往(wang)往(wang)是(shi)從技(ji)術角(jiao)度出發,而非顧慮成(cheng)本。“工(gong)程(cheng)(cheng)師(shi)往(wang)往(wang)面臨很多(duo)挑戰,不(bu)會每一次都成(cheng)功(gong),但(dan)我們有好奇心(xin)去研究如何(he)滿足要求,反復(fu)嘗(chang)試用(yong)新的(de)(de)技(ji)術方案、新的(de)(de)工(gong)藝去解決問(wen)題。”這(zhe)也是(shi)摩爾公司(si)前進的(de)(de)驅動力。

“每個(ge)領域(yu)的研發都(dou)是大同小異,肯定會在開發產(chan)品時碰到很多問題,但關鍵(jian)在于要不斷的去試錯驗證、再試,最終還是要堅持。”馬(ma)兵說(shuo)。

紅(hong)星新聞(wen)記者 王田


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